Skip to main content

Review of Ion Implantation Technology for Image Sensors

MDPI Sensor publishes "A Review of Ion Implantation Technology for Image Sensors" by Nobukazu Teranishi, Genshu Fuse, and Michiro Sugitani from Shizuoka and Hyogo Universities and Sumitomo.

"Image sensors are so sensitive to metal contamination that they can detect even one metal atom per pixel. To reduce the metal contamination, the plasma shower using RF (radio frequency) plasma generation is a representative example. The electrostatic angular energy filter after the mass analyzing magnet is a highly effective method to remove energetic metal contamination. The protection layer on the silicon is needed to protect the silicon wafer against the physisorbed metals. The thickness of the protection layer should be determined by considering the knock-on depth. The damage by ion implantation also causes blemishes. It becomes larger in the following conditions if the other conditions are the same; a. higher energy; b. larger dose; c. smaller beam size (higher beam current density); d. longer ion beam irradiation time; e. larger ion mass. To reduce channeling, the most effective method is to choose proper tilt and twist angles. For P+ pinning layer formation, the low-energy B+ implantation method might have less metal contamination and damage, compared with the BF2+ method."

Comments

Popular posts from this blog

7 Laptop Gaming Terbaik Harga 5 Jutaan

7 Laptop Gaming Terbaik Harga 5 Jutaan | Seiring perkembangan teknologi game, akhirnya saat ini para produsen laptop pun berlomba-lomba meluncurkan produk laptop gaming yang menawarkan spesifikasi tinggi. Namun yang sering menjadi kendalanya adalah umumnya memang  laptop gaming yang beradar dipasaran kebanyakan dibanderol dengan harga yang tergolong mahal, sehingga membuat konsumen berpikir dua

Cara Melanjutkan Mimpi Yang Terputus Saat Tidur

Cara Melanjutkan Mimpi Yang Terputus Saat Tidur - Pernahkah Anda mengalami mimpi yang sangat indah, lalu terbangun begitu saja tanpa ada alasan yang jelas? Lalu apakah sempat terpikir dalam benak Anda bahwa Anda ingin melanjutkan mimpi yang sebelumnya pernah terjadi? Disini saya akan membahas bagaimana cara melanjutkan mimpi yang terputus saat seseorang terbangun dari tidur. Sebelumnya mari kita

Katalog Harga Promo Giant 26 – 29 Desember 2016

Katalog harga promo Giant Promo Natal dan Tahun Baru – Giant adalah salah satu supermarket terbesar di Indonesia yang memiliki banyak cabang, dimana terdapat berbagai macam produk yang ditawarkan untuk memenuhi kebutuhan sehari-hari. Selain itu, Giant juga sering mengadakan promo untuk produk tertentu yang dimilikinya, promo JSM Giant ini berlangsung selama seminggu atau dengan syarat dan